Son zamanlarda, Şangay Optik Enstitüsü ve hassas makineler, Çin Bilimler Akademisi yüksek güçlü lazer fizik Ortak Laboratuvarı araştırma ekibi Zhu Jianqiang, Çin Bilimler Akademisi, büyük çaplı optik elemanların faz hatası tespiti araştırmalarında yeni ilerleme kaydetti karanlık alan görüntülemeyi ve statik çok düzlemli tutarlı kırınım görüntülemeyi birleştiren algılama şeması. İlgili sonuçlar 7 Mayıs'ta Uygulamalı Optik'te yayınlanmıştır.
Terminal optik elemanın UV hasarı, şu anda yüksek güçlü lazer sürücüsünün gelişimini kısıtlayan darboğazlardan biridir ve mikron boyutu faz kusurunun optik alanının arttırılmasından kaynaklanan aşağı akış optik elemanının hasarı şu anda terminal optik elemanının hasarının ana nedenleri, bu nedenle büyük çaplı optik elemanın faz kusurunun kesin tespiti ve kontrolü, yüksek güçlü lazer cihazının yük kapasitesini artırır Yükseliş esastır. Mikron ölçeği olan geniş diyafram açıklığına (300 ~ 400 mm) sahip bileşenlerin lokal faz hatalarının etkili ve doğru bir şekilde tespit edilmesi uluslararası bir sorundur.
Araştırma ekibi bir&"iki aşamalı GG"; yukarıdaki sorunları çözmek için çözüm. İlk adım, tam diyafram açıklığındaki faz kusurlarını tespit etmek, algılama verimliliğini büyük ölçüde artırmak ve sistem maliyetini azaltmak için geniş diyafram foton elekine dayanan karanlık alan görüntüleme teknolojisini kullanmaktır; ikinci adım, faz görüşlerini küçük görüş alanında doğru bir şekilde ölçmek için statik çok düzlemli tutarlı kırınım görüntüleme teknolojisini (MCDI) kullanmak ve bunları önlemek için odaklama merceği olarak uzamsal ışık modülatörünü kullanmak Mekanik hareket hatasını önler. geleneksel MCDI ve sistem kararlılığını artırır.
Geleneksel interferometrik yöntemle karşılaştırıldığında,&"iki aşamalı GG" de önerilen kırınım ölçüm sisteminin optik yolu; Şema basittir ve hata dağılımının azlığı için özel bir şartı yoktur. Deneysel sonuçlar, sistemin çözünürlüğünün, 50 μ m'den daha iyi olduğunu ve mevcut algılama gereksinimlerini karşıladığını göstermektedir. Bu araştırma, geniş diyafram açıklığına sahip optik elemanlardaki faz hatalarının yüksek verimli ve yüksek hassasiyetli tespiti için yeni ve etkili bir çözüm sunmaktadır.
İlgili araştırmalar, Çin Bilimler Akademisi'nin NSFC, Şanghay Doğa Bilimleri Vakfı, araştırma aracı ve ekipman geliştirme projesi ve Çin Bilimler Akademisi'nin gençlik yenilikleri destekleme derneği tarafından desteklenmiştir.
Şekil 1 statik çok düzlemli tutarlı kırınım görüntülemesine dayanan faz hatası algılama sistemi
Şekil 2 farklı iterasyonlar (a ~ F) altındaki faz rekonstrüksiyon sonuçları 1, 2, 5, 1 0, 5 0, 2 00 sırasıyla)